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工具電極常用導電性良好

熔點較高、易加工的耐電蝕材料，如銅、石墨、銅鎢合金和鉬等。在精密放電加工過程中，工具電極也有損耗，但小于工件金屬的蝕除量，甚至接近于無損耗。

工作液作為放電介質，在加工過程中還起著冷卻、排屑等作用。精密放電加工中常用的工作液是粘度較低、閃點較高、性能穩定的介質，如煤油、去離子水和乳化液等。利用金屬絲或成形導電磨輪作工具電極，進行小孔磨削或成形磨削的電火花磨削；用于加工螺紋環規、螺紋塞規、齒輪等的電火花共軛回轉加工；小孔加工、刻印、表面合金化、表面強化等其他種類的加工。